产品中芯

光刻机

单像素扫描仪

便携式焦平面测试系统

量子点材料合成和电极制备

单元器件测量和单元器件成像验证

焦平面器件制备和器件封装

曝光面积
曝光分辨率
掩模版尺寸
基片厚度
操作
110×110mm 2μm ≤127×127mm ≤5mm 查看